统筹/申卉、嵇沈玲

文/广州日报全媒体记者武威

图/广州日报全媒体记者王维宣

高性能滤波芯片，这“高大上”的名字看上去离我们很遥远，其实与我们生活息息相关。手机接收信号、无线网络保持稳定、高端电子设备运行……都离不开它。

在广州市艾佛光通科技有限公司（以下简称“艾佛光通”）的企业展台上，4部不同年代的手机拆解展品最先映入眼帘。

最“年长”的“大哥大”，使用的是体积庞大的陶瓷腔体滤波器；2G/3G/4G年代，手机主要使用轻巧的声表面波滤波器。如今，面向5G高频通信，智能手机中体声波（BAW）滤波芯片的使用占比正逐步提高。这，正是我们今天的主角。

独创技术让良品率超90%

手机依靠电磁波传递信息，滤波器就像手机的“智能耳朵”，可以对空气中不同频率的电磁波信号进行过滤选频。也就是说，滤波器的好坏直接决定了通信质量和稳定性。

“随着5G时代到来，声表面波滤波器已经无法满足高频、高功率、低延时等要求。”艾佛光通项目总监潘怡冰说。于是，人们将目光转向性能更加优良的体声波滤波芯片。

不仅是手机，只要物联网设备需要收发5G信号，都需要使用滤波器，包括无人机、工业物联网、车载GPS、机器人、各类基站等。因此，自主研制体声波滤波器对广州乃至全国的未来产业发展至关重要。

国外主流的体声波滤波器，使用的是多晶FBAR滤波芯片结构。它在高频段（2.5GHz以上）具有低插入损耗、高带外抑制等优势。在信号处理方面，它成为5G手机射频前端的关键组件。

然而，这一技术路线在国外很早被申请了专利保护，全球体声波滤波器市场的95%被博通、Qorvo等美日企业垄断。2023年，我国就有手机厂商因体声波滤波芯片短缺，在5G时代无奈推出4G手机。

要突围，就得蹚出一条新的技术路线。

潘怡冰透露，艾佛光通2011年在广州黄埔注册成立研发中心，一直尝试攻克体声波滤波芯片难题。2015年，采用公司独创技术路线的体声波滤波芯片中试成功，良品率超过90%。此后，公司开始了大规模生产和市场营销。

“我们使用了单晶AlN材料和全新空腔工艺，这与国外生产滤波器采用的多晶AlN材料和相关技术路线完全不同。”潘怡冰说，新材料、新工艺让艾佛光通的主打产品5G“SABAR®”体声波滤波芯片各项技术指标达到国际领先水平，综合性能较国外产品提升超过20%。

“通俗地讲，我们新的技术路线芯片制备工序更少，减少了制备过程对滤波芯片的损伤，进而提高了良品率。比如，芯片加工有一些工序需要用强酸腐蚀，难免影响芯片性能和寿命，新技术路线减少了这类工序。”

潘怡冰说，综合各种创新点的应用，艾佛光通这款芯片工作频率更高、能量损耗更低、功率容量更大、杂波抑制更强、晶圆尺寸更大、制造成本更低。

今年将迎更大规模量产

随着SABAR滤波芯片生产线已稳定量产，艾佛光通的年产值达15亿元。“现在，包括三星在内的不少知名手机品牌都是我们的客户。我们在广州、河源的工厂一直处于满产状态，但仍供不应求。”潘怡冰说。

2023年，艾佛光通在广州知识城的总部基地启动建设，预计今年7月整体完工。届时，基地的滤波芯片年产量将达到25亿颗，极大满足各类5G设备客户的需求。“公司2024年的营收预计是2023年的3倍，等到知识城的基地投产，公司效益还将出现更大幅度提升。”

艾佛光通知识城总部基地占地50亩，是集厂房、研发车间、仓库等于一体的5G滤波芯片生产研发基地。目前，12万平方米建筑已全面封顶，建成投产后将助推艾佛光通的体声波滤波芯片及其模组实现规模化量产。这对补齐我国高速通信产业链条短板、解决5G射频滤波芯片领域难题，具有重要作用。

“广州给了我们这样的科技企业很大支持，我们从2020年开始进行了4轮投融资，投融资总额已达数十亿元。广州还积极推荐我们参加全国、省、市各级创新创业大赛，让我们获得很好的展示和投融资的机会，助力企业快速发展。”潘怡冰说。

从艾佛光通的射频芯片产线，到粤芯12英寸集成电路模拟芯片特色工艺生产线、增芯12英寸先进MEMS传感器及特色工艺线，再到芯粤能碳化硅产线等，越来越多芯片企业在广州聚集、生产，推动广州逐渐形成完善的产业链格局。

未来，越来越多“广州造”芯片将走向世界，助力广东打造全国集成电路“第三极”。

(编辑： 吴嘉祺)